中國生產(chǎn)真空泵的廠家很多,我國真空泵制造業(yè)有著悠久的歷史和雄厚的基礎,國內(nèi)真空泵已在各個領域得到應用和驗證,部分泵也出口到國外,得到了國外用戶的認可和好評??梢哉f,中國真空泵制造業(yè)在國內(nèi)外市場上還有很大的發(fā)展空間。
1.液環(huán)泵
在國外,液體環(huán)泵的銷售占真空泵市場的14%,僅次于干泵。由于液體環(huán)泵多為鑄件,加工要求不高,屬于勞動密集型產(chǎn)品,因此國內(nèi)液環(huán)泵在價格上具有競爭優(yōu)勢。關鍵是要改進設計,真空泵品牌,減少體積,減輕重量,提高效率,降低能耗。
2.滑閥泵
真空泵型滑動閥市場在國內(nèi)外各種真空爐、涂包機和烘干、浸漬設備中均作為前置泵使用,但滑動閥泵鑄件重量大,加工工作量大,因此國外真空廠正在中國尋找合作伙伴。為使國產(chǎn)滑閥泵進入國際市場,2BVA系列水環(huán)真空泵,有必要進一步降低泵的振動和噪聲,消除噴油和泄漏,提高滑閥泵長期運行的可靠性。
3.直聯(lián)旋片泵
隨著真空技術在各種應用領域的不斷擴展,對直接耦合旋片泵的需求不斷增加。由于這樣的泵數(shù)量很多,加工和裝配工作量很大,價格很低。因此,一些國外真空制造商在中國建立了專業(yè)工廠。國內(nèi)中小型直聯(lián)式旋葉泵已通過技術壁壘,其價格比國外泵便宜得多。因此,國產(chǎn)水泵仍然具有競爭優(yōu)勢。關鍵是解決軸封漏油問題,解決旋葉材料和真空泵油的性能質(zhì)量問題,保證直聯(lián)泵在高速、高溫下性能穩(wěn)定、運行可靠,進一步提高國產(chǎn)直聯(lián)旋葉泵的水蒸氣抽汽性能。能力。
4.羅茨泵
羅茨泵的產(chǎn)值不大,但國外羅茨泵的報價遠高于國產(chǎn)泵。國內(nèi)外幾乎所有的大小型高真空和中真空系統(tǒng),為了縮短抽運時間,提高生產(chǎn)效率,都配備了羅茨泵,因此,國內(nèi)羅茨泵必須在占領國內(nèi)市場的基礎上進入國際市場。這樣,必須進一步降低國產(chǎn)羅茨泵的振動和噪聲,解決軸封漏油問題,提高泵的外觀質(zhì)量。萊寶真空泵。提高泵的光潔度。此外,在一些國家和地區(qū)還需要考慮供電頻率為60 Hz的情況下,還要保證羅茨泵在長時間提速的情況下的可靠性。
目前,國內(nèi)空冷直排羅茨泵發(fā)展迅速,技術成熟。由于泵在排氣口下設有氣體冷卻器,部分冷卻后的氣體通過管道返回泵室冷卻轉子,使壓縮熱量平衡,使泵能直接排出空氣。為了滿足不同極限真空度的要求,羅茨泵可串聯(lián)使用。一般在羅茨泵前加裝氣冷直排羅茨泵,使羅茨泵達到的極限真空度比前泵高一個數(shù)量級。這種類型的泵實際上是干泵,因為泵室中沒有工作介質(zhì)。在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機轉子動平衡、航天空間模擬等領域,對這種空冷垂直排氣管泵和機組進行了長期的試驗研究。因此,黑龍江真空泵應在我國大力推廣應用。
5.分子泵
分子泵已在國外半導體領域的許多工藝中被用來替代低溫泵。特別是濺射、蝕刻和lcvd裝置,使用復合分子泵和牽引泵作為主泵。
由于分子泵的抽速僅為相同口徑低溫泵抽速的四分之一,因此分子泵的抽速比低溫泵的抽速長。為了提高分子泵的抽速,國外在分子泵進口側安裝了-130℃~-150℃的低溫冷板,稱為低溫分子泵。蒸汽由低溫板捕獲,其它氣體由分子泵抽提。該低溫分子泵在真空鍍膜裝置中的應用,不僅提高了生產(chǎn)效率,而且提高了薄膜質(zhì)量。分子泵應建立從小到大的完整系列,并研發(fā)各種復合分子泵、牽引泵和低溫分子泵、淄博水環(huán)式真空泵以滿足不同場合的需要。
6.干泵
國外干泵市場的持續(xù)增長主要是由半導體產(chǎn)業(yè)、化工產(chǎn)業(yè)和薄膜產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展帶動的。在日本,干式真空泵已被用于替代半導體工業(yè)中的油封機械泵。超過45%的歐美半導體工業(yè)用干式真空泵型機械泵取代了油封式機械泵,極大地提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。極限壓力為10~10~2 Pa,泵速為20~500 m~3/h。據(jù)統(tǒng)計,國產(chǎn)干式泵的應用率不足1%。國內(nèi)半導體工業(yè)用干式泵全部從國外進口,價格昂貴。